看完這篇短文，掃描電子顯微鏡盡在掌握之中

　　答：SEM成像，是通過檢測(cè)器獲得二次電子和背散射電子的信號(hào)。如樣品不導(dǎo)電或?qū)щ娦圆缓茫瑫?huì)造成樣品表面多余電子或游離粒子的累積不能及時(shí)導(dǎo)走，一定程度后就反復(fù)出現(xiàn)充電放電現(xiàn)象(charging)，最終影響電子信號(hào)的傳遞，造成圖像扭曲，變形、晃動(dòng)等現(xiàn)象，噴金后樣品表面導(dǎo)電增強(qiáng)，從而避免積電現(xiàn)象。

　　2  噴金后，對(duì)樣品形貌是否有影響？

　　答：樣品表面噴金后，只是在其表面覆蓋了幾個(gè)到十幾個(gè)金原子層，厚度只有幾個(gè)納米到十幾個(gè)納米而已，對(duì)于看形貌來說，幾乎是沒有什么影響的。

　　3  掃描電鏡能譜點(diǎn)掃，線掃和mapping之間的區(qū)別？

　　答：能譜點(diǎn)掃，線掃和mapping分別是在點(diǎn)范圍，線范圍，和面范圍內(nèi)獲得樣品的元素半定量信息，除此之外，線掃和mapping還能分析元素在線或面范圍內(nèi)的分布情況。

　　它們的意義在于點(diǎn)掃可以測(cè)試材料某一位置的元素種類和含量，面掃(mapping)的意義主要在于了解材料元素的區(qū)域分布，線掃的意義在于了解材料一條線上各個(gè)點(diǎn)的元素含量的變化。

　　4  掃描電鏡和透射電鏡的相似和區(qū)別？

　　答：

　　制樣上：

　　二者對(duì)樣品共同要求：固體，盡量干燥，盡量沒有油污染，外形尺寸符合樣品室大小要求。

　　區(qū)別是：

　　TEM：電子的穿透能力很弱，透射電鏡往往使用幾百千伏的高能量電子束，但依然需要把樣品磨制或者離子減薄或者超薄切片到微納米量級(jí)厚度，這是最基本要求。

　　SEM：幾乎不用制樣，直接觀察。大多數(shù)非導(dǎo)體需要制作導(dǎo)電膜(例如噴金)，絕大多數(shù)幾分鐘的搞定，含水的生物樣品需要固定脫水干燥。

　　成像上：

　　SEM的成像時(shí)電子束不穿透樣品而是掃描樣品表面，TEM成像時(shí)電子束穿透樣品，SEM的空間分辨率一般在XY-3-6nm，TEM空間分辨率一般可以達(dá)到0.1-0.5nm。

　　5  SEM-EDS與XPS測(cè)試時(shí)采樣深度的差別？

　　答：XPS采樣深度為2-10nm，EDS采樣深度大約1um。

　　6  掃描電鏡的能譜為何不能準(zhǔn)確定量？

　　答：能譜(EDS)結(jié)合掃描電鏡使用，能進(jìn)行材料微區(qū)元素種類與含量的分析。

　　其工作原理是：各種元素具有自己的 X 射線特征波長(zhǎng)，特征波長(zhǎng)的大小則取決于能級(jí)躍遷過程中釋放出的特征能量 E。能譜儀就是利用不同元素 X 射線光子特征能量不同這一特點(diǎn)來進(jìn)行成分分析的。能譜定量分析的準(zhǔn)確性與樣品的制樣過程、樣品的導(dǎo)電性、元素的含量以及元素的原子序數(shù)有關(guān)。

　　因此，在定量分析的過程中既有一些原理上的誤差(數(shù)據(jù)庫及標(biāo)準(zhǔn))，我們無法消除，也有一些人為的因素產(chǎn)生的誤差，這些元素都會(huì)導(dǎo)致能譜定量不準(zhǔn)確。

　　7  什么是背散射電子像？

　　答：背散射電子(Backscattered Electrons)：入射電子在樣品中經(jīng)散射后再從上表面射出來的電子。反映樣品表面不同取向、不同平均原子量的區(qū)域差別。

　　背散射電子像的形成，就是因?yàn)闃悠繁砻嫔掀骄有驍?shù)較大的部位而形成較亮的區(qū)域，產(chǎn)生較強(qiáng)的背散射電子信號(hào)；而平均原子序數(shù)較低的部位則產(chǎn)生較少的背散射電子，在熒光屏上或照片上就是較暗的區(qū)域，這樣就形成原子序數(shù)襯度。

　　8  電鏡圖像的標(biāo)尺與放大倍數(shù)的關(guān)系？

　　答：電鏡圖像的標(biāo)尺通常都可以設(shè)定為固定的或可變的。前者是標(biāo)尺的長(zhǎng)度不變，但代表的長(zhǎng)度隨放大倍率變化；后者是標(biāo)尺長(zhǎng)度適應(yīng)不同階段放大倍率可變，但代表的長(zhǎng)度在一定的放大倍率范圍內(nèi)固定不變。

　　因此同樣的放大倍率可以有不同的標(biāo)尺，但在同一輸出媒介上的實(shí)際尺寸不變。改變輸出方式時(shí)，放大倍率已改變(當(dāng)然顯示的放大倍率不會(huì)變化)，測(cè)量的尺寸當(dāng)然也就改變了。

　　因此，標(biāo)尺數(shù)值的大小跟放大倍數(shù)沒有必然關(guān)系，具體數(shù)值大小和不同的儀器廠商設(shè)置有關(guān)。

　　9  形貌拍攝結(jié)果不清晰？

　　答：

　　樣品導(dǎo)電性較差，導(dǎo)致拍攝結(jié)果不清晰；

　　拍攝要求太高，儀器本身無法達(dá)到；

　　對(duì)焦或像散沒有調(diào)好，這種情況一般很少；

　　其次與設(shè)備配置以及安裝環(huán)境也有一定關(guān)系。

　　10  掃描電鏡的分類？

　　答：掃描電鏡根據(jù)產(chǎn)生電子的方式不同可以分為熱電子發(fā)射型和場(chǎng)發(fā)射型，熱電子發(fā)射型用的燈絲主要有鎢燈絲電鏡；場(chǎng)發(fā)射型又有熱場(chǎng)發(fā)射和冷場(chǎng)發(fā)射之分?