國(guó)儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡
SEM3300是全新一代鎢燈絲掃描電子顯微鏡,分辨率優(yōu)于2.5nm。特殊的電子光路設(shè)計(jì),突破鎢燈絲分辨率極限,在低電壓 1 kV 下,達(dá)到 5 nm 的分辨率。
國(guó)儀量子鎢燈絲掃描電子顯微鏡擁有出色的成像質(zhì)量、在不同的視場(chǎng)范圍下均可得到高分辨率圖像。大景深,成像富有立體感。豐富的擴(kuò)展性,助您在顯微成像的世界中盡情探索。
產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
應(yīng)用案例
產(chǎn)品參數(shù)
電子光學(xué)系統(tǒng) | 電子槍類型 | 預(yù)對(duì)中型發(fā)叉式鎢燈絲電子槍 |
分辨率 | 2.5 nm @ 20 kV |
4 nm @ 3 kV |
5 nm @ 1 kV |
放大倍率 | 1 x~300,000 x |
加速電壓 | 0.1 kV~30 kV |
成像系統(tǒng) | 探測(cè)器 | 二次電子探測(cè)器(ETD)、鏡筒內(nèi)電子探測(cè)器 |
*背散射電子探測(cè)器、*能譜儀EDS等 |
圖像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG |
真空系統(tǒng) | 真空模式 | 優(yōu)于5×10-4 Pa |
控制方式 | 全自動(dòng)控制 |
樣品室 | 攝像頭 | 光學(xué)導(dǎo)航 |
樣品倉(cāng)內(nèi)監(jiān)控 |
樣品臺(tái)配置 | 五軸自動(dòng) |
軟件 | 語(yǔ)言 | 中文 |
操作系統(tǒng) | Windows |
導(dǎo)航 | 光學(xué)導(dǎo)航、手勢(shì)快捷導(dǎo)航 |
自動(dòng)功能 | 自動(dòng)亮度對(duì)比度、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)像散 |